基于5G-MEC的半导体设备预测性维护系统

回文刚

海宁跨界国际半导体制造有限公司，浙江嘉兴，314400；

摘要：随着半导体制造工艺复杂度的提升，设备稳定性成为影响良率与生产效率的关键因素。传统的预防性或事后性维护模式已无法满足高精密设备对连续性与稳定性的需求。本文提出一种基于5G移动边缘计算（MEC）的半导体设备预测性维护系统，通过融合高频实时感知、低延迟通信、边缘智能推理与云协同建模，实现对关键设备状态的持续监测、故障趋势的提前识别和运维策略的自动闭环调控。文章系统构建了该系统的网络架构、边缘AI分析模型与业务集成路径，并结合晶圆机、刻蚀台等典型设备进行仿真验证与实际应用评估，结果表明本系统在降低非计划停机率、优化备件调度与提升维护效率方面具备显著优势。

关键词：5G；MEC；半导体设备；预测性维护；边缘智能；工业物联网

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