关于提升超声扫描显微镜检测精准性技术研究
姜吉 张学洋 阳秋光 张钊

贵州航天计量测试技术研究所，贵州省贵阳市，550009；

摘要：超声扫描显微镜检测（声扫）是塑封器件内部分层、空洞及裂纹检测的核心无损手段。然而，声扫本质上属于定性分析，其检测结果受设备性能、阈值设置、器件结构及操作人员经验等多重因素影响，在不同检测机构间常出现结果不一致的行业共性问题。据此提出了多设备交叉验证、从严设定阈值及提高A扫描抽检比例三项改进措施，为提高行业内声扫检测的准确性提供了工程实践依据。

关键词：塑封器件；超声扫描显微镜；能力比对；分层检测；设备差异

参考文献

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