激光干涉仪测量原理与校准技术
陈姗姗

辽宁省计量科学研究院，辽宁省沈阳市，110004；

摘要：激光干涉仪用激光波长作为内禀基准，具有纳米级的测量分辨力以及完整的量值溯源链，是目前几何量精密计量的主要手段。本文从双频激光干涉和零差干涉两种工作机制入手，对测量原理进行详细的阐述，主要研究了激光频率稳定性、余弦误差、阿贝误差、空气折射率波动等主要误差来源，并给出了相应的工程补偿方法。在量块标准器法和比对法的校准技术方面，给出具有工程可行性的校准方案，按照JJF1059.1-2012对各个不确定度分量进行定量评价，为精密机床、坐标测量机等设备量值传递提供规范参照。

关键词：激光干涉仪；测量误差补偿；校准技术；测量不确定度

参考文献

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